Intellectual Property Sales List
知的財産項目
| 国内外 区分 | 海外 | 知的財産の形態 | 特許 |
|---|---|---|---|
| 出願番号 | JP 2016-576015 | 登録番号 | |
| 別名（考案）の名称 | 四角ゲート真空バルブ及びそれを備える半導体製造装置 | ||
| 別名（考案）の名称（英文） | |||
| 知的財産分野 | 電子 | ||
| 画像ファイル[C] | |||
| 添付ファイル | |||
| 特許評価等級 | 特許評価点数 | ||
| 技術価値評価金額 | |||
事業化情報
| 知的財産の概要及び要約 | 本発明は、四角ゲート真空バルブ及びそれを備える半導体製造装置に関し、本発明の四角ゲート真空バルブは、相互に対向される両側面に、第１ゲートと第２ゲートが形成されるゲートフレームと、前記ゲートフレームの上部を遮蔽する遮蔽プレートと、前記ゲートフレームの下部の一側に設けられる第１開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動または回転可能に配置され、前記第１ゲートを選択的に開閉する第１バルブユニットと、及び前記ゲートフレームの下部ので、前記第１開口と離隔配置される第２開口を通じて、前記ゲートフレーム内へ直線移動または回転可能に配置され、前記第２ゲートを選択的に開閉する第２バルブユニットを含む。 |
|---|---|
| 知的財産の取引形態 | 権利譲渡 ( 協議 ) |
| 協議後に決定 | |
| 知的財産段階 | 研究開発中 |
#四角ゲート真空バルブ及びそれを備える半導体製造装置
