Intellectual Property Sales List
知的財産項目
| 国内外 区分 | 海外 | 知的財産の形態 | 特許 |
|---|---|---|---|
| 出願番号 | JP 2019-187311 | 登録番号 | 6978656 |
| 別名（考案）の名称 | 半導体ウエハー洗浄装置におけるウエハー表面温度実時間モニタリング方法及びウエハー表面温度測定用温度センサー | ||
| 別名（考案）の名称（英文） | |||
| 知的財産分野 | 電子 | ||
| 画像ファイル[C] | |||
| 添付ファイル | |||
| 特許評価等級 | 特許評価点数 | ||
| 技術価値評価金額 | |||
事業化情報
| 知的財産の概要及び要約 | ウエハー洗浄工程において化学的な反応と摩擦によるウエハー表面の不規則的な温度変化に能動的に対処することができる半導体ウエハー洗浄装置におけるウエハー表面温度実時間モニタリング方法及びウエハー表面温度測定用温度センサーを提供する。 |
|---|---|
| 知的財産の取引形態 | 権利譲渡 ( 協議 ) |
| 協議後に決定 | |
| 知的財産段階 | 研究開発中 |
#半導体ウエハー洗浄装置におけるウエハー表面温度実時間モニタリング方法及びウエハー表面温度測定用温度センサー
