Intellectual Property Sales List
知的財産項目
| 国内外 区分 | 海外 | 知的財産の形態 | 特許 |
|---|---|---|---|
| 出願番号 | JP 2019-181392 | 登録番号 | 6845488 |
| 別名（考案）の名称 | 半導体ウエハー洗浄装置におけるウエハー表面温度測定のための温度センサー取付位置調整装置及びその方法 | ||
| 別名（考案）の名称（英文） | |||
| 知的財産分野 | 電子 | ||
| 画像ファイル[C] | |||
| 添付ファイル | |||
| 特許評価等級 | 特許評価点数 | ||
| 技術価値評価金額 | |||
事業化情報
| 知的財産の概要及び要約 | 半導体ウエハー洗浄装置においてウエハーの表面温度を測定する温度センサーを取り付けて位置を調整する装置及びその方法を提供する。 |
|---|---|
| 知的財産の取引形態 | 権利譲渡 ( 協議 ) |
| 協議後に決定 | |
| 知的財産段階 | 研究開発完了 |
#半導体ウエハー洗浄装置におけるウエハー表面温度測定のための温度センサー取付位置調整装置及びその方法
